由中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所甲烷高效轉(zhuǎn)化新材料與新過(guò)程研究組研制的高性能金屬鈀復(fù)合膜材料和800m3/h規(guī)模超純氫氣純化技術(shù)進(jìn)行了工業(yè)應(yīng)用示范試驗(yàn)并獲得成功。這是我國(guó)自主開(kāi)發(fā)的國(guó)際上首套利用廉價(jià)金屬鈀復(fù)合膜進(jìn)行超純氫氣純化的工業(yè)應(yīng)用示范裝置。

    5月17日，由科技部高技術(shù)中心組織的專(zhuān)家組對(duì)大連化物所和華海制氫設(shè)備有限公司承擔(dān)的國(guó)家“863”膜專(zhuān)項(xiàng)課題“超純氫氣分離膜材料及規(guī)模化制備技術(shù)”進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試。在800m3/h裝置上，采用純度為99.92%的氫氣作為原料，可以獲得純度為99.99995%的超純氫氣，氫氣回收率達(dá)到91.2%，氫氣產(chǎn)量為847m3/h。

    同日，專(zhuān)家還對(duì)另外一套30m3/h超純氫技術(shù)示范裝置進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試，結(jié)果如下：采用純度為99.9995%的氫氣作為原料氣，可以獲得純度>99.999999%的超純氫氣，氫氣回收率達(dá)到91.68%，氫氣產(chǎn)量為30.66m3/h。

    超純氫氣廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、LED和多晶硅等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。該工業(yè)應(yīng)用示范裝置的成功開(kāi)車(chē)，標(biāo)志著我國(guó)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超純氫氣純化技術(shù)，可以為上述戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)提供廉價(jià)的超純氫氣原料。