（1）沉陽液態(tài)氣體可燃氣體是指自發(fā)，可燃，可燃氣體。例如，室溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒。當環(huán)境溫度達到一定水平時，PH3和B2H6等氣體也會自燃。可燃氣體均具有一定的著火和爆炸范圍，即上限和下限。氣體范圍越大，爆炸和燃燒的危險就越大。例如，B2H6的爆炸上限為98％，爆炸下限為0.9％。易燃氣體是H2，NH3，PH3，DCS，ClF3。 （2）有毒氣體：半導體制造業(yè)中使用的許多氣體對人體有害和有毒。其中，AsH3，B2H6，PH3等氣體毒性最高，其閾限值TLV（ThresholdLimitedValve）僅為50×10-9、100×10-9、300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極小，因此在存儲，運輸和使用過程中需要特別注意。通常，應(yīng)采取特定的技術(shù)措施來控制這些氣體的使用。 NO，C4F6，C5F8，NF3，CH3F等都是有毒氣體。 （3）腐蝕性氣體：這些腐蝕性氣體通常也具有劇毒。腐蝕性氣體通常在干燥狀態(tài)下不易腐蝕金屬，但在水，例如HCl，HF，PCl3，SiF4，ClF3，WF6等存在的情況下，它顯示出強腐蝕性。 （4）惰性氣體（InertGas）：惰性氣體本身一般不會直接傷害人體。在氣體傳輸過程中，安全要求并不比其他氣體嚴格。然而，惰性氣體具有令人窒息的性質(zhì)。如果在密閉空間中發(fā)生泄漏，可能會導致窒息并引起工作事故。屬于此類的氣體為C2F6，CF4，SF6，CHF3等。 （5）氧化氣體（OxideGas）：這種氣體具有很強的氧化性，通常具有毒性或腐蝕性等其他特性。屬于此類的氣體包括ClF3，Cl2，NF3等。不銹鋼管件是用于輸送各種工藝氣體，尤其是一些劇毒，易燃和易爆危險氣體的主要管件。因此，在上述不同材料中，不銹鋼管件的生產(chǎn)和構(gòu)造要求最為嚴格。一般來說，要輸送P級要求（×10-9）的工藝氣體，需要使用SUS316 EP（電子拋光）管。對于一般的非工藝氣體輸送，使用由SUS316制成的BA（BrightAnneal）管。作為低碳含量的不銹鋼材料，SUS316不僅具有良好的耐腐蝕性能，而且還具有良好的耐蝕性。由于BA管的生產(chǎn)經(jīng)歷了溶解，軋制（熱/冷軋），焊接（壓延），熱處理（熱處理）和拋光（拋光）等復雜過程，其表面粗糙度Rmax≤4.5mm。除了對EP管進行表面研磨和其他工藝外，還應(yīng)用了電解研磨和精密清潔技術(shù)。其Rmax≤0.7mm[3]。在安裝燃氣管件時，應(yīng)盡可能連續(xù)且無連接地進行施工。這樣可以減少使用的接頭數(shù)量，并減少潛在的氣體泄漏風險。配件和配件之間的連接最好通過軌道焊接進行連接。對于不銹鋼焊接，使用氬弧焊，并將純度相同的氬氣送入焊接管中。這樣可以保證連接的質(zhì)量，并防止由于焊接不當而造成的管道內(nèi)壁積碳，從而造成燃氣管道的污染。配件與各種配件之間的連接必須采用金屬對金屬的端面密封。 VCR和世偉洛克（Swagelok）是在普通晶圓廠中用于氣體管道連接的兩個常用接頭。具體選擇形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)過程中對高純氣體的要求和氣體本身的特性來選擇。通常，VCR型接頭主要用于傳輸過程氣體和危險氣體。連接管道后，接頭處的墊圈將變形，以確保管道每秒泄漏的氦氣少于10-9cc。比率（LeakageRate）[4]。但是，當連接時，應(yīng)避免由于擰得太緊而導致不銹鋼墊圈過度變形，從而導致連接不良或氣體泄漏。世偉洛克接頭通常用于傳輸惰性氣體，氮氣和CDA。由于這些氣體可以承受一定的泄漏率，因此通常不使用昂貴且需要焊接的VCR型接頭。通常，管道配件的安裝原理是盡可能減少管道配件的長度，盡可能減少接頭和閥門的數(shù)量，因為大多數(shù)危險氣體的泄漏發(fā)生在不合適的接頭和閥門的接頭處。危險氣體的特殊事項作為半導體晶圓鑄造氣體的使用者，每個工人在使用前應(yīng)了解各種危險氣體的安全數(shù)據(jù)，并應(yīng)知道當這些氣體泄漏時如何應(yīng)對緊急情況。程序。通常，我們將提供三重保證，以防止危險氣體意外釋放到工作環(huán)境中。一個是特殊氣體的氣瓶，所有通過正負壓泄漏檢測的輸氣管道，第二個是連續(xù)排氣排氣系統(tǒng)（Exhaust），氣瓶柜，VMB和工作臺等管路節(jié)點都是具有強大的排氣系統(tǒng)，可確保每個管節(jié)點的外圍處于負壓環(huán)境中。如果有少量的有毒氣體泄漏，排氣系統(tǒng)將在第一時間抽出，另一個非常重要的是在排氣口或環(huán)境點處的有毒氣體檢測系統(tǒng)，如果發(fā)生有毒氣體泄漏，氣體將被排出。由檢測系統(tǒng)檢測到，此控制系統(tǒng)將根據(jù)氣體泄漏對人體造成的危害程度，確定整個氣體輸送系統(tǒng)的相關(guān)聯(lián)鎖動作。在嚴重情況下，所有上游氣源將被緊急關(guān)閉，中央控制室和現(xiàn)場將被開動。相關(guān)的警報系統(tǒng)LAU甚至會驅(qū)動整個工廠的自動語音廣播系統(tǒng)，以通知立即疏散，要求相關(guān)人員人員迅速撤離報警區(qū)域。因此，只要工程技術(shù)人員嚴格按照既定的標準操作程序進行操作，所有這些安全裝置都將確保人員沒有安全隱患。沉陽液化氣